技術指標
● 真空度測量范圍: 9.999×10-1~1×10-5Pa
● 離子電流測量范圍: 9.999×10-1~1×10-7A
● 測量誤差: <10%
● 測量分辨率: 10-5pa
● 高壓輸出:脈沖30kV 15kHz
● 允許環境溫度: -20℃~50℃
● 空氣濕度: ≤80%RH
● 電源: AC,220V,50Hz±10%
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